高效清洗 节能环保
去除扩散工序后表面PSG/BSG，抛光硅片表面。
产品特点
恒压滴液，可靠性强。
精准补液
采用PFA高精磁致伸缩补液系统。
平稳传动
传动系统分为两组，互相不干涉，辊轮采用PVDF高耐酸碱材料，主传动设计带水润滑技术。
高效循环
搭载高效循环泵，主副槽药液浓度/温度均衡。
高效烘干
搭配四组风刀，缝隙出风，表面无死角烘干，配备过滤器，保证烘干槽洁净度。
技术参数
| 产品产能 | 双6道产能≥17000PCS/h(182) |
| 双6道产能≥12500PCS/h(210) | |
| 碎片率≤0.01% | |
| Uptime>98% | |
| 速度:1-5m/min可调 |
上一页
Copyright©2024 7163银河(集团)有限公司|官方网站
